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石英管玻璃的清洁方法和特点
新闻来源:    点击数:2612    更新时间:2017/2/16 14:03:46    收藏此页

石英管玻璃在半导体工业设备上,运用温度经常在 1000 ℃至 1300 ℃之高温状态, 在此种状态下由于附著不纯物招致失透现象发作,失透之部分为石英之晶质化, 晶质化之变态点为 275 ℃,当石英玻璃自高温降至此变态温度时,表面失透之晶 质化部分与石英玻璃本身高温之 α 相与低温之 β 相间收缩系数不同在急速冷却下 产生不透明之剥离状更严重时会构成分裂现象产生。
石英管因此,防止这些污染源附著在石英表面上 除了不直接用空手去拿石英外, 运用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石 英表面之洁净度。
石英管首先用纯水先冲洗表面, 再置入酸洗槽内浸泡一 些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。
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